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Semicondutores

  • Brochura de Soluções de Vedação de Semicondutores
  • Inclui processamento de pastilhas tanto molhadas quanto secas
  • Destaque para nossa família de materiais perfluoroelastômeros registrados Simriz® e recomendações
  • Guias de Referência de Dimensões de Anéis O-Ring (para semicondutores):
  • Materiais Superior™ tem desempenho entre FKM e FFKM
  • Qualidade Seis Sigma para peças da mais alta qualidade
  • Materiais desenvolvidos para aplicações tanto molhadas quanto secas
  • Produção e assistência globais
  • Certificação: produção em ambiente limpo Classe 1000 e limpeza e embalagem Classe 10

  • O-Rings
    • Vedações tipo taça
    • Selos tampa de câmara
    • Janelas de saída
    • Selos de entrada de gases
    • Selos de válvula isoladora
    • Guarnições KF
    • Selos de válvula de fenda
    • Selos de válvula
    • Vedações de janela

    Vedações de Fluidos Magnéticos
    • Retentores para eixos rotativos de substrato de LP-CVD* e forno de dispersão
    • Retentores para eixos rotativos de transporte para robôs transportadores de água

  Juntas Metálicas de Expansão
  • Juntas metálicas de expansão para válvulas de fenda
  • Juntas metálicas de expansão para válvulas de registro
  • Juntas metálicas de expansão de borda para susceptores
  • Juntas metálicas de elevação para robôs de transporte de água
  • Juntas metálicas de expansão para aquecedores
  • Juntas metálicas de elevação para portas cassette

Juntas Rotativas
  • Alimentação de fluidos para CMP* e processo de lavagem
  • Esmerilhadeiras
  • Máquinas de lavar
  • Serra para picotar/cortar