Selos de Fluido Magnético
- Brochura de selos a vácuo de fluido magnético
- Catálogo padrão ou projetos pesonalizados
- Projetos axial simples, multiaxial e translação linear
- Excelentes capacidades de alta temperatura
- Baixa pressão de vapor
- Projetos de alta resistência à corrosão disponíveis
- Lubrificação de fluido magnético e mancais registrada
- Projetos compactos para minimizar necessidade de espaço
Aplicações
- Sedimentação: LPCVD, APCVD, HDPCVD, PECVD, RPCVD, SACVD *
- Calcinação
- Gravação a plasma: poli, óxido e metal
- Metalização: PVD (Physical Vapor Deposition)
- Implante iônico
* LPCVD - Low Pressure Chemical Vapor Deposition
APCVD - Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition
HDPCVD - High Density Plasma Chemical Vapor Deposition
PECVD - Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
RPCVD - Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition
SACVD - Sub-Atmospheric Chemical Vapor Deposition
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